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微型ICP激发源微电路组件的参数设计
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2010-07-30
南风一号
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本文简要介绍了一种采用微结构平面螺旋线圈的新的ICP(电感耦合等离子体)光谱激发源。作者设计加工出的基于PCB(印刷电路板)镀金工艺的微型ICP激发源在13.56MHz下成功启燃，并给出了ICP火炬照片。详细介绍了作者研制的微型ICP激发源的平面螺旋电感和交指电容的参数设计方法，给出了设计版图和实物照片，微结构线条宽度和间隙在数百微米量级。展望了平面螺旋电感和交指电容在微型ICP激发源的中的应用前景。
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