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非接触光栅测量系统

消耗积分:5 | 格式:rar | 大小:2500 | 2010-08-28

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RELM高精度直线光栅重新定义了
光栅的性能，具有高速、可靠、非接触
的性能，它还具有IN-TRAC™内置刻划
光学零位等先进功能。
系统由S R 读数头、S i 细分盒和
RELM 20 μm栅距的因钢栅尺组成。
RELM极为坚固，其优异的性能可
与价格昂贵、栅距更小的光栅系统媲
美。
RELM精度达±1 μm， 膨胀系数
~~ 0.6 μm/m/°C（0 °C至30 °C），分辨率
达5 nm，能够满足苛刻的精密运动的需
求
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