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MEMS-IC设计的新平台和结构化方法

消耗积分:0 | 格式:rar | 大小:427 | 2010-09-23

王华西

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本文介绍了一种MEMS 器件设计，及在Cadence Virtuoso 设计环境与集成电子产品一起仿真的新方法。采用德州仪器的数字微反射镜器件（DMD）的例子，我们展示新的MEMS - IC 设计方法如何可以应用到一个镜面阵列，并将多个MEMS 微镜与电子控制电路一起仿真。
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