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单晶硅拉晶细则
消耗积分:5 |
格式:rar |
大小:26 |
2010-10-20
刘艳
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1，停炉：收尾结束后停炉
首先将F3速度控制里控速输出清零，温校速率与温校输出清零，再将F4继电控制里面的电流过低报警及下依次关闭，将欧陆表WSP打闭环至OP，将功率降至0，然后关闭加热按钮，
同时将埚转关闭，晶转调低（如由原来10转改为5转），关闭晶升，待关闭加热按钮5小时后拆炉
2，拆炉：
首先热后真空检漏，关闭Ar气抽至真空状，然后关闭真空阀，关闭主室泵，3min不超1Pa说明炉内密封性良好（升晶棒前应将晶转关闭），然后关闭真空计，打开Ar气，待Ar气充至一定时间将内外压力平衡，此时可打开门将Ar气关闭，为安全起见将主副室隔离板落下进行隔离，开启液压系统，卸荷（长按听到响声为准）升副室，取晶棒。
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