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HE-NE激光器功率调谐位移传感激光器

消耗积分:5 | 格式:rar | 大小:987 | 2010-12-29

王静

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摘要：阐述了一种新型的HE-NE激光位移传感器，具有自校准功能以及没有原理上的误差。利用频率分裂技术，将一个纵模间隔分为4个宽度相等的区间，在这4个区间内激光器具有不同的光功率输出。当一个频率移动过这样的一个区间，相当于激光器的一个腔镜移动了X/8可移动的反射镜与被测工件相连。这样，一支HE-NE激光器变成了一个不用干涉现象的位移传感器，其测量范围可达10MM,测量精度可达0.079UM并具有判向的功能。

关键词：频率分裂  位移测量与传感  HE-NE激光  纵模间隔

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