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几种应用与多晶硅压力传感器的温漂和灵敏度的补偿方法详细介绍

消耗积分:2 | 格式:pdf | 大小:0.14 MB | 2020-03-11

王小刚

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　　列举了几种多晶硅高温压力传感器的热灵敏度漂移补偿方法， 并分别讨论了它们的原理及特点。对采用多晶硅热敏电阻器进行补偿的两种补偿方法进行了详细地分析和测试。 实验表明， 这两种补偿法更适用于多晶硅压力传感器。

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