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射频微等离子体的结构有什么特点

消耗积分:1 | 格式:pdf | 大小:0.14 MB | 2020-07-07

王杰

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  在之前的文章中,对射频大气压辉光放电已经有所介绍,那么,如果在射频放电中,将放电的间隙进一步缩小到微等离子体尺度内,即为1mm左右,乃至到了几百微米的量级,射频微等离子体又会出现哪一些新的特点呢?接下来我们与大家共同探讨。

  如下图所示,是在相同的电流下,射频微等离子体鞘层区与等离子体区的分布比例。在给定电流密度0.06A/cm2,当放电间隙逐渐增加,实验与计算均表明鞘层开始逐渐增加,而当极板间隙增加超过500µm后,鞘层厚度几乎保持在215µm不变。而对于等离子体区的厚度,其从100µm到900µm一直在单调增加。

  通过上图我们可知,当放电间隙小于500µm时,放电等离子体由传统的辉光放电结构转化为一种鞘层主导的结构,即鞘层成为放电空间的主要部分。同时,数值模拟还表明,在鞘层主导的放电结构中,整个放电空间失去了电中性,呈现为电正性,如下图所示。

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