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MEMS开关可调滤波器的资料简介
刘敏
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滤波器是射频微波系统必不可少的重要组成部分，性能优异的滤波器模块是射频微波通信系统能正常工作的必要前提。传统的微波滤波器虽然在参数指标上有很优秀的性能，但是其庞大的体积不但使得相应的微波通信系统更加庞大，并使产品成本也一起随之上升；同时，随着MMIC（单片）技术发展，对微波滤波器也提出了集成化的高要求。 MMIC滤波器，其高的插入损耗和低的Q值限制了自身的发展。近十多年来，随着MEMS（微机电系统）工艺和MEMS器件的成熟，给微波滤波器的集成化注入了新的活力。与传统的VLSI工艺相比，MEMS技术在不牺牲器件性能的前提下，可以实现微波无源器件的集成化。基于MEMS工艺的微波MEMS滤波器不仅具有优异的频率选择能力（高Q）和低的插入损耗，而且在体积上远小于传统微波滤波器，易于集成，为微波单片集成系统的实现奠定了良好的基础，MEMS滤波器已成为国内外研究的热点。按滤波器的用途分，微波MEMS滤波器可分为可调节MEMS滤波器和非调节MEMS滤波器两大类，文章将对这两类MEMS滤波器进行分类讨论。
1、MEMS可调滤波器
由于现代微波通信雷达系统便携化和通用化的发展需求，实现能够软件控制的可编程微波收发系统是现代微波通信雷达系统的重要发展方向。能根据需求调节频率选择范围的微波滤波器是微波系统具有重构性的基础；同时，在通信系统的前端，通过可调滤波器，实现通信系统信道的选择也是一种新的系统解决方案。传统可调滤波器不易实现集成，MEMS可调滤波器以其优异的性能，成为了突破射频微波系统通用性不强的约束的最佳选择。 MEMS可调滤波器可以分为三类：（1）磁场调节滤波器；（2）电场调节滤波器；（3）机械调节滤波器。磁场调节滤波器（例如YIG）和机械调节滤波器体积巨大，难以集成，在此不做讨论。该节主要讨论基于MEMS开关和MEMS可变电容的两类 MEMS可调滤波器。
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