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半导体IC的清洗方法

消耗积分:0 | 格式:rar | 大小:0.04 MB | 2021-04-09

姚小熊27

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　　介绍了半导体IC制程中存在的各种污染物类型及其对IC制程的影响和各种污染物的去除方法， 并对湿法和干法清洗的特点及去除效果进行了分析比较。

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