随着高压器件和功率器件需求的不断发展,大功率VDMOS器件的特有作用正日益显现出来。VDMOS主要应用在高电压和大电流两种情况,在一些特殊的需求方面亦具有不可替代的作用。本文用虚拟制造方法进行了低压大电流VDMOS器件的设计。虚拟制造利用日益成熟的TCAD工具,通过工艺模拟得到虚拟器件结构,对虚拟器件进行模拟,合理选择和调整制造工艺,选择最佳工艺条件,达到设计需要的电学性能。
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