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基于AIGaN/GaN型结构的气敏传感器对于CO的传感性

消耗积分:0 | 格式:pdf | 大小:0.71 MB | 2023-09-01

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摘要：研究了基于AlGaN/GaN型结构的气敏传感器对于CO的传感性.制备出AlGaN/GaN型气敏传感器器件，并测试得到了器件在50℃时对于不同浓度（1%，9000，8000，5000和1000ppm）的CO的响应情况；测试并分析了1%CO在50和100℃下响应度的差异，计算了通入1%CO前后器件的肖特基势垒高度的变化和灵敏度随电压的分布关系.结果表明，器件的灵敏度强烈依赖于器件的工作温度和通入的气体浓度，随着温度和浓度的增加，器件的灵敏度呈单调增加，器件在100℃空气气氛中表现出了良好恢复性能.

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