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扫描电镜电压衬度技术在集成电路失效分析中的应用

消耗积分:5 | 格式:rar | 大小:2.23 MB | 2012-03-15

王兰

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本文主要讨论利用扫描电镜及其外加电路, 对集成电路的失效进行分析的方法— 电压衬度法.
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fsw122 2014-09-19
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