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MEMS惯性传感器在控制系统中的应用研究

消耗积分:0 | 格式:pdf | 大小:709 KB | 2013-03-04

刘明

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MEMS惯性传感器作为工业应用领用新兴的应用元件，不论在商业、工业还是军工应用上都有着广阔的应用。文中给出了几种MEMS的在不同领域内的应用范例，并解析了相应的原理，并从一款较常用的MEMS入手提出了对相应领域内的解决思路。

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