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自组装技术在MEMS中的应用

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:223 | 2009-11-16

贾大林

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本文选取近年来自组装技术在 MEMS 方面的典型应用实例加以介绍，总结自组装技
术的发展现状，并展望其在MEMS 中的应用前景。
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