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微机电系统材料特性检测技术
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2009-11-23
李鸿洋
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随着MEMS 加工工艺的发展，微机电系统的材料特性引起了人们越来越多的关注。由于硅晶材料的残余应力会降低MEMS 系统结构的使用寿命，频繁的冲击会对器件造成致命的伤害。因此，测量加工工艺造成的残余应力和应变，测试材料的疲劳强度对于MEMS 加工工艺的发展有着重要的意义。
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