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研华单晶设备监控解决方案
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2017-09-30
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在单晶硅生产过程中，硅片的直径大小和晶体生长过程的自动化程度，对生产效率和产品质量有很大的影响。硅单晶生长技术的发展要求设备智能化具备稳定性好、质量可靠、操作使用方便等。最大限度免除认为因素对生长过程的干扰，必须提高和优化设备的稳定性、精确性和智能程度。单晶炉控制柜控制整个单晶炉安全正常运转和加热功率的变化，控制真空系统运行。
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