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增强溅射系统和工艺

消耗积分:2 | 格式:rar | 大小:223 | 2009-12-07

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增强溅射的原理类似于喷射工艺。低压电弧在真空室中央放电使等离子强度增大几倍，从而产生强度更高的电离
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