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基于视频共焦显微镜光刻对准系统设计研究

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:344 | 2009-12-17

张龙祥

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基于视频共焦显微镜光刻对准系统设计研究
王鲁宾，周金运，宋超
（广东工业大学物理与光电工程学院，广东 广州 510006）
摘要：针对目前研究的激光投影光刻机的对准需要,设计了一套基于视频图像对准原理的激光投影光刻对准系统。详细分析了共焦显微镜和CCD 相关双采样图像处理关键技术在本系统中的应用,结果表明CCD 图像的质量明显提高,从而提高了视频图像对准系统的精度，完全满足系统分辨精度2.5um 的
要求。
关键词：视频图像；对准系统；共焦显微镜；相关双采样
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