在超大规模集成电路中,随着时钟频率的增加、信号上升时间的缩短以及铜工艺的采用,互连线电感效应对电路性能的影响越来越突出。矩量法和高阶基函数法均为数值方法,其优点是计算结果准确,但缺点是计算效率低,为此本文给出了直流内部电感计算的解析式,该公式可快速准确计算直流内部电感值,提高参数提取效率。
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