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基于高可靠性的压力传感器设计
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2018-02-09
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压力传感器广泛应用于各种现代工业生产中，对于在机车、冶金、石油化工、动力机械、航空航天等工程领域应用的传感器来讲，研究高可靠性及耐高温的压力传感器具有重要的实际意义。例如航空发动机进出口油压测量，发动机燃烧室气体压力测量、汽车发动机用机油压力测量、增压热燃气喷口压力测量时，一旦传感器失效或者泄漏，不仅会造成测量输出异常，甚至会造成人员伤亡。目前，工业上常见的压力传感器芯片为扩散硅原理，压敏电阻和衬底通过PN结电隔离，当工作温度超过120℃时硅材料本征激发PN结会反向导电，所以不能在高于120℃的环境下进行压力测量，传感器敏感元件的安装结构通常为O型密封圈“悬浮”结构，存在泄露隐患。针对某工程领域实际需求，提出了一种高可靠性压力传感器的设计方法，传感器芯片采用（ silicon-orrinsulator，SOI）原理，具有优良的高温性能，敏感元件通过电子束焊接8连接，输出信号还还将进行温度补偿。最后经过环境试验证明，该产品的的可靠性和性能指标可以满足工程要求。
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