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微机械电容式麦克风的仿真研究
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2018-03-10
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针对麦克风产品开发成本过高问题，对麦克风的制造工艺进行了研究，提出了一种用仿真代替实验的方法，利用IntelliSuite软件中的Blueprint设计麦克风制作过程巾所使用的掩膜版图，再利用IntelliSuite软件中IntelliFah模块对器件进行了微电容式麦克风的工艺流程仿真，仿真出麦克风器件，再利用IntelliSuite软件中的3D BUILDER，TEM两个子模块，仿真得到了微机械电容式麦克风的灵敏度、吸合电压以及固有频率等参数，该仿真过程得到的相关参数能够为微机械电容式麦克风性能的佐证提供参考，并指导学者对微电容式麦克风产品的开发与设计过程。分析结果表明，此过程能够代替实际的开发的制造过程，达到节约产品开发成本的目的。
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