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基于PLC的MOCVD控制系统设计

消耗积分:5 | 格式:rar | 大小:161 | 2010-07-20

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针对MOCVD系统工艺的要求，设计了一种基于PLC的MOCVD计算机控制系统。本文从系统的组成、实现原理和软件设计等方面做了介绍。采用可编程控制器作为其核心控制系统，提高了系统的自动化程度，保证了系统运行的可靠性，灵活性。
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