×

介观压阻型微压力传感器设计

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:445 | 2010-12-23

h1654155275.3301

分享资料个

运用共振隧穿双势垒（DBRT）结构中的一种压阻效应原理—介观压阻效应，用GaAs/AlAs/InGaAs DBRT结构薄膜作为敏感元件，设计了一个周边固支平膜片结构的压力传感器。并对介观压阻和普通压阻灵敏度的量级作出了比较，验证了介观压阻效应原理，可以提高压力传感器的灵敏度，为制造基于介观压阻效应的新型超敏感型传感器提供了一定的理论依据。
Abstract:
 This paper used a piezoresistive effect meso-piezoresistive effectin a double-barrier resonant tunneling(DBRT)structure,took GaAs/AlAs/InGaAs DBRT film as core component,a pressure sensor with a film fixed around is designed.Grade of sensitivity are compared meso-piezoresistive with general,principle of meso-piezoresistive effects is verified,it can be inproved sensitivity of sensor to produced new micro-transducers based on meso-piezoresistive effect offers a new means.
下载并关注上传者 低至0.43元/天 开通VIP 免费下载

声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。 举报投诉

评论(0)
发评论

下载排行榜

全部0条评论

快来发表一下你的评论吧 !