不同氮化镓蚀刻技术的比较

将铜互连扩展到2nm的研究

等离子体基铜蚀刻工艺及可靠性

降低半导体金属线电阻的沉积和蚀刻技术

低能量电子束曝光技术

耐蚀点蚀镀铜工艺

酸蚀刻对钛医药材料纳米形态表面特性及活化能的影响

六氟化硫等离子体的热反应离子蚀刻

单片微波集成电路中砷化镓的干蚀刻

浅谈蚀刻工艺开发的三个阶段

湿式化学蚀刻法制备硅片微孔

如何在蚀刻工艺中实施控制？

AlN和Sc0.2Al0.8N薄膜的湿法化学腐蚀

什么是金属蚀刻和蚀刻工艺？

半导体蚀刻工艺课堂素材分享（4）（下）

使用KOH各向异性蚀刻Si的光学器件的单掩模微制造（下）

使用KOH各向异性蚀刻Si的光学器件的单掩模微制造（上）

超声波频率对化学蚀刻过程的影响实验报告

关于硅的湿化学蚀刻机理的研究报告

关于硫酸-过氧化氢-水系统中砷化镓的化学蚀刻研究报告