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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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LIS302ALB,pdf datasheet (MEMS
2010-02-09
733
17
双膜桥微波MEMS开关
2010-02-05
417
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一种90分布式MEMS移相器的设计
2010-01-25
509
26
基于ARM平台的MEMS输入设备的固件设计
2010-01-20
666
13
MEMS封装技术
2009-12-29
670
44
基于MEMS强链和FPGA的物理认证系统
2009-12-28
296
26
MEMS降阶宏模型仿真平台研究
2009-12-19
556
14
MEMS产业化面临的机遇与挑战
2009-12-14
506
16
射频MEMS封装技术
2009-11-26
443
40
创新工艺解决微型MEMS的无缝互连挑战
2009-11-26
466
16
单电容式及差分电容式MEMS传感器检测系统
2009-11-26
673
30
基于MEMS共面波导腔的带阻滤波器的设计
2009-11-26
449
21
MEMS加速计校准提升工业应用中的精度
2009-11-26
530
15
基于ARM与MEMS器件的微惯性测量装置设计
2009-11-26
371
17
智能MEMS气体传感器中微加热器的优化设计
2009-11-23
445
39
用于MEMS微电容检测的全差分放大器
2009-11-23
644
46
MEMS传感器的优化与动态试验
2009-11-23
388
15
Motionless Bandwidth Test for
2009-11-16
594
17
MEMS静电执行光开关的设计与实验
2009-11-16
851
15
MEMS传感器的封装
2009-11-16
497
39
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