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智能MEMS气体传感器中微加热器的优化设计

消耗积分:5 | 格式:rar | 大小:223 | 2009-11-23

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传统的金属氧化物气体传感器通常用于测量可燃性烃类气体和其他有毒气体。但是,
他们存在两种缺陷,即(a)较高的工作温度(不小于300℃)及(b)较大的功耗(大于1 瓦)。正在研制的硅材料微型金属氧化物气体传感器克服了这些缺陷。微机械气体传感器的大部分功耗包括各种通过硅衬底传导的热损失,通过所有接触面和辐射向空气中传送。微机械金属氧化物系气敏元件的热特性要针对低功耗进行优化，通过传感层和瞬态响应适当的控制温度分布。但是MEMS 金属氧化物气体传感器中的微加热器还没有得到优化。在本文中,我们已经研究出一种方法(软件)用于设计和优化MEMS 气体传感器中的微加热器。使用这一软件,可以估算达到某一温度所需功率以及活跃层的温度分布。
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