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双膜桥微波MEMS开关
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2010-02-05
王平
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介绍了一种双膜桥微波MEMS 开关,给出了开关的设计与优化方法,建立了开关的仿真模
型,使用硅表面微机械工艺制造了双膜桥开关样品,其主要结构为硅衬底上制作CPW 金属传输线电极和介质层,然后制作具有微电感结构的金属膜桥,提高了开关隔离度。利用HFSS 软件仿真的结果表明,该开关在微波低频段(3～6GHz) 有着很好的隔离性能。研制的开关样品在片测试的电性能指标为:插损小于0. 3dB ,隔离度大于40dB ,驱动电压小于24V。
关键词: 微机电系统; 射频开关; 高隔离度
型,使用硅表面微机械工艺制造了双膜桥开关样品,其主要结构为硅衬底上制作CPW 金属传输线电极和介质层,然后制作具有微电感结构的金属膜桥,提高了开关隔离度。利用HFSS 软件仿真的结果表明,该开关在微波低频段(3～6GHz) 有着很好的隔离性能。研制的开关样品在片测试的电性能指标为:插损小于0. 3dB ,隔离度大于40dB ,驱动电压小于24V。
关键词: 微机电系统; 射频开关; 高隔离度
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