本文档的主要内容详细介绍的是微电子工艺发展状况和微电子工艺特点与用途
集成电路从小规模集成电路迅速发展到大规模集成电路和超大规模集成电路�从而使电子产品向着高效能低消耗、高精度、高稳定、智能化的方向发展。
微电子工艺
是指用半导体材料制作微电子产品的方法、原理、技术。
不同产品的制作工艺不同
但可将制作工艺分解为多个基本相同的小单元
工序称为单项工艺。
不同产品的制作就是将单项工艺按需要顺序排列组合来实现的。
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