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MEMS陀螺仪的工作原理详细概述
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2020-11-25
王芳
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陀螺仪是用来测量角速率的器件，在加速度功能基础上，可以进一步发展，构建陀螺仪。陀螺仪的内部原理是这样的：对固定指施加电压，并交替改变电压，让一个质量块做振荡式来回运动，当旋转时，会产生科里奥利加速度，此时就可以对其进行测量；这有点类似于加速度计，解码方法大致相同，都会用到放大器。
角速率由科氏加速度测量结果决定 - 科氏加速度 = 2 × （w × 质量块速度） - w 是施加的角速率（w = 2 πf） 通过 14 kHz 共振结构施加的速度（周期性运动）快速耦合到加速度计框架 - 科氏加速度与谐振器具有相同的频率和相位，因此可以抵消低速外部振动该机械系统的结构与加速度计相似（微加工多晶硅）信号调理（电压转换偏移）采用与加速度计类似的技术施加变化的电压来回移动器件，此时器件只有水平运动没有垂直运动。如果施加旋转，可以看到器件会上下移动，外部指将感知该运动，从而就能拾取到与旋转相关的信号。
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