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芯片生产工艺的概况

消耗积分:0 | 格式:rar | 大小:16.17 MB | 2021-03-22

姚小熊27

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　　本章介绍芯片生产工艺的概况。（1）通过在器件表面生成电路元件的工艺顺序，来阐述4种最基本的平面制造工艺。（2）解释从电路功能设计图到光刻掩膜版生产的电路设计过程。（3）阐述了晶圆和器件的相关特性与术语。

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