姚小熊27
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本章将介绍基本芯片生产工艺的概况,主要阐述4中最基本的平面制造工艺,分别是:薄膜制备工艺掺杂工艺光刻工艺热处理工艺薄膜制备是在晶体表面形成薄膜的加工工艺。
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