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激光晶体自动直径控制（ADC）技术的研究
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2021-09-17
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激光晶体自动直径控制（ADC）技术的研究-
精密的自动控制直径技术是提高晶体质量和成品率的重要途径l。目前自动控制提拉法生长晶体，实际上都集中在如何自动控制晶体直径这一点上。自动控径方法有如下几种：
（1）光圈控径法
晶体生长是在晶体周围液面上存在一个随晶体直径的变动而变动的光圈。用光学系统对光圈取样，利用光敏元件对光圈边缘进行控制，从而达到控制晶体直径的目的
（2）光反射法
在晶体生长时，由于熔体表面张力使晶体外延与熔体交界处形成弯月面，弯月面随晶体直径变化，其曲率半径也会随着变化，利用这点，当一束经聚焦的激光照射到熔体弯月面上会发生反射。若晶体直径发生变化，弯月面曲率也会随着变化，反射光就偏离原光路，根据这一讯号控制加热功率，使反射光返回原光路，晶体恢复原来直径，从而达到控制直径的目的。
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| 激光晶体自动直径控制（ADC）技术的研究.pdf | 5M |
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