设计和操作
激光干涉测振仪SP-S系列,是对物体位置或表面位置的瞬时变化进行精密、非接触测量的理想仪器,允许测量机械振动的频率范围为0-500kHz。
该仪器是在SP系列微型平面镜干涉仪的成熟概念基础上设计出来的。SP-S系列干涉仪的传感测头装备有辅助光学元件,可以对任意粗糙度的表面进行测量。
整套系统包括装有激光器且模块化设计的电子单元、微型化设计的传感测头以及各种接口。
光纤耦合的干涉仪将沿光轴的运动转换为干涉条纹,并传入其快速、高分辨率的解码电路进行处理。操作及结果显示通过PC上运行的特殊数据处理软件来得以实现。
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