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白光干涉仪测量原理及干涉测量技术的应用
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2024-12-16
白光干涉仪利用干涉原理测光程差，测物理量，具高精度。应用于半导体、光学加工、汽车零部件制造及科研等领域，双重防撞保护保障测量安全。
基本原理：白光干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜分成两束，一束光经被测表面反射回来，另一束光经参考镜反射，两束反射 光最终汇聚并发生干涉。两束相干光间光程差的任何变化会灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起。通过测量干涉条纹的变化，就可以测量出被测表面的相关物理量。
白光的特点及优势：白光属于多色光，具有连续的光谱。与单色光干涉不同，白光干涉在一定光程差范围内会出现彩色的干涉条纹，并且只有在零光程差附近的极小范围内才会出现清晰的、对比度高的干涉条纹。这一特性使得白光干涉仪在测量时能够通过精确寻找零光程差位置来实现高精度的测量，对于微观形貌的测量具有独特的优势。
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