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激光干涉仪测量案例：医疗CT滑轨运行精度及旋转架定位精度检测
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2025-12-24
测量需求
检查床CT滑轨运行的定位精度、重复精度、直线度，旋转架的旋转精度和旋转定位精度。
激光干涉仪测量方案
SJ6000激光干涉仪搭配线性镜组+角度镜组+直线度镜组+WR50自动精密转台。
1、测量优势
测长精度0.5ppm，分辨率 1nm，最长支持80m测长距离；支持360°任意角度测量，旋转精度±1″；
配备温度补偿模块，可实时采集现场环境温湿度对激光波长和测量材料进行补偿，使测量结果更准确；
测试结果可生成数据图表和报告，并自动分析生成补偿数据从而补偿到系统，提高运行精度。
2、测试步骤
（1）安装调试
把三脚架调整到合适高度，激光干涉仪放置在三脚架上，调整至与CT滑轨同高。线性反射镜放置于滑轨上，随测量轴一起移动，通过调整主机和线性镜组，确保光路与检测轴平行，此时光路搭建完成。
（2）数据采集
测量行程0-650mm，间隔25mm，往返1次，越程1mm，激光干涉仪暂停时间2S，设备运行暂停3S（注意设备暂停时间大于激光干涉仪设定时间1S）。设备和激光干涉仪设置程序一致即可开始运行测量。
（3）数据补偿
测量结束后，软件可通过算法自动生成补偿数据。
补偿前：定位精度81.173um,重复定位精度2.683um。检测出的“实际位置数据”和“理论位置数据”存在显著差异，未满足出厂标准。
补偿后：定位精度7.037um，重复定位精度1.328um，补偿精度后大大提升了CT扫描仪的诊断准确性。
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