×

高精度光刻机在大规模集成电路上的应用

消耗积分:0 | 格式:pdf | 大小:779 KB | 2011-10-28

分享资料个

 

微细图形加工技术是集成电路向高集成化发展的关键, 其中图形曝光对准是很主要的。由于接触式光刻机的精度高、设备造价低, 所以在集成电路制造中被广泛采用。但是, 随着大规模集成电路不断向高集成化、微细化发展又出现了各种问题。
下载并关注上传者 低至0.43元/天 开通VIP 免费下载

声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。 举报投诉

评论(0)
发评论

下载排行榜

全部0条评论

快来发表一下你的评论吧 !