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集成电路制造的光刻与刻蚀工艺

消耗积分:0 | 格式:rar | 大小:1.67 MB | 2021-04-09

姚小熊27

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　　光刻是集成电路工艺中的关键性技术。在硅片表面涂上光刻胶薄层，经过光照、显影，在光刻胶上留下掩模版的图形。

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