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集成电路制造的光刻与刻蚀工艺
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2021-04-09
姚小熊27
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光刻是集成电路工艺中的关键性技术。在硅片表面涂上光刻胶薄层，经过光照、显影，在光刻胶上留下掩模版的图形。
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