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基于LabVIEW晶体生长检测系统的圆弧拟合技术
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2011-11-03
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运用图形化编程语言对采集的单晶硅生长信息图进行图像处理,对部分“释热光环”进行圆弧拟合,由拟合出的圆进行晶体生长直径检测。实验表明,该设计能够很好地完成圆弧拟合,实现对单晶硅的生长直径检测,符合系统检测要求。
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