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大尺寸AMOLED的关键工艺技术研究

消耗积分:2 | 格式:pdf | 大小:1001KB | 2015-07-16

郭德纲

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本文主磐介绍一种基于LTPS(低温多晶硅)和小分子OLED(有机发光二级管)三次蒸镀技术的 12inch AMOL西(主动矩阵式有机发光二极管)显示屏制造工艺技术。对在工艺调试过程中影响器件性能及 产品不良的关键工艺因子进行了阐述和分析，并对基于此工艺生产出的12inch AMOLED显示屏特性进行了 系统研究，同时，对后续的产品董产导入和产品应用前景进行了展望。
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ywso 2016-07-25
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