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薄膜技术_王力衡 1991

消耗积分:0 | 格式:pdf | 大小:7060KB | 2016-11-29

200930213314

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薄膜是一种物质形态，清华田民波在《材料学概论》一书的第十三讲，说的就是薄膜技术及薄膜制备技术。成膜技术及薄膜产品在工业上，特别是电子工业邻域有及其重要的地位，在半导体集成电路、电阻器、电容器、激光器、磁带等都用薄膜技术。这本就是专门介绍成膜技术及薄膜的电、光学、机械、磁性性能的一本教程。理论严谨，对于研究材料工程方向的同学很有帮助。
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