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八梁硅微加速度传感器横向灵敏度的研究

消耗积分:2 | 格式:rar | 大小:223 | 2009-11-26

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一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用悬臂梁加质量块的形式, 这种结构的
传感器有很高的灵敏度, 但它会产生很高的横向效应。文中介绍一种八梁结构的三轴加速度传感器, 通过用ANSYS有限元分析软件仿真计算, 说明该结构的加速度传感器具有很小的横向效应。
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