磁控溅射镀膜设备主要是使用直流磁控溅射,常需要2路输出稳定的直流电源,设定一个电压值后,要求快速响应到电压的设定值。电源使用过程中必须保持稳定性,电压数值不能受负载影响。然而,市面上常用的开关电源为开环控制,无法确保稳定输出,而一个稳定的电压对镀膜好坏至关重要,因此设想通过PLC的PID算法,利用现有的直流开关电源,实现电源的快速调节和闭环管理。
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