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利用微电铸制作镍悬臂梁
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2009-12-29
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利用微电铸制作镍悬臂梁:为了设计出导电的Ni 微变截面悬臂梁,采用了基于成熟的电镀技术的微电铸工艺. 在分析悬臂梁的变截面结构和搭建微电铸试验平台之后,设计了整个工艺流程,利用近紫外线厚胶光刻、Ni 微电铸、去除牺牲层等工艺实现了悬臂梁的制作. 工艺实验结果表明,整个变截面悬臂梁的铸层表面没有缺陷,但不同微电铸面积的基座、粗梁、细梁的铸层厚度不均匀,其中,铸层面积最大的基座铸层最厚,面积次之的粗梁的铸层厚度居中,面积最小的细的铸层最薄. 实验证明在一定
范围内增大占空比和降低电流密度可以抑制这种厚度不均匀现象.
范围内增大占空比和降低电流密度可以抑制这种厚度不均匀现象.
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