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基于MEMS的高增益低副瓣太赫兹波纹喇叭天线设计
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2018-01-26
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本文提出了一种基于微电子机械系统（MEMS）工艺的高增益低副瓣太赫兹波纹喇叭天线设计方法。利用三维全波有限元电磁仿真软件Ansys HFSS，对角锥喇叭的波纹开槽尺寸和条数进行参数分析和优化设计，获得了在275 GHz至580 GHz的有效带宽内r回波损耗小于10 dB）增益超过8 dB和副瓣电平小于-13 dB的太赫兹波纹喇叭天线。结果表明波纹开槽可有效提高太赫兹喇叭天线增益并压低副瓣，同时也说明MEMS工艺可有效用于太赫兹功能器件设计。
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