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一种层状结构声表面波流体传感器研究
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2018-02-09
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随着声表面波器件向小型化和微型化持续发展，各类声表面波传感器也不断涌现。其中声表面波流体传感器的研究也得到了广泛开展。过去认为声表面波将在流体内发生严重衰减，但是随着流体层厚度的减小，流体粘性效应的作用也在逐渐变小，而质量效应在不断增加。正基于此种思路，各种声表面波微量流体的加热和驱动理论也在不断提出。本文设计了由弹性层、保护层和流体层组成的层状结构声表面波流体传感器，并分析了声表面波在此模型中的传播特性。
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