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基于LabVIEW的MEMS传感器自动标定校准系统
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2018-02-09
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MEMS传感器主要由MOS管组成，由于MOS管材料的物理特性及其制造工艺的因素，MEMS传感器的输出特性受温度影响较大，输出特性的不理想因素主要有零点误差、灵敏度误差以及非线性误差，这些误差需通过后接调理电路得以校准。标定过程中，需要用到如温箱、压力源等标定设备，此类设备大都采用PID控制，到达预设值并且稳定花费的时间较长。标定过程需测量的点数较多，人工读取测量值存在一定的观测误差，步骤效率低且可靠性不高。
本文基于LabVIEW设计了一款传感器的自动标定系统，结合多项式拟合法将温度信息与传感器的输出特性完成数据融合进行信号校准，能自动标定校准传感器，缩短标定校准的时间，提高了数据精度。
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