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MEMS热膜壁面剪应力传感器标定
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流体壁面剪应力的测量对于流动减阻、湍流结构机理研究等方面都具有重要的作用，但是这一物理量较难测得。近年来，MEMS （Micro-electromechanical System，微电子机械系统）技术的发展推动了传感器尺寸的微小化，MEMS传感器为壁面剪应力的测量提供了一种准确有效的手段。国内外许多研究机构已经开展了各类MEMS壁面剪应力传感器的设计制造。为了关联壁面剪应力和输出信号，评估传感器的工作性能指标，许多研发单位开展了传感器的标定研究工作，但是至今为止尚未有统一的标定方法形成。关于MEMS壁面剪应力传感器的研究进展，Lennart Lofdahl于1999年介绍了测量壁面剪应力的传统方法和MEMS方法，其中重点介绍了热膜型MEMS壁面剪应力传感器的测量原理，标定公式以及时间和空间分辨率。Ali Etebari于2008年对最新的研究成果进行了概述。
MEMS壁面剪应力传感器的种类有很多，按测量方式的不同可分为直接测量型和间接测量型。浮动单元可作为直接测量方式的敏感元件，浮动单元式剪应力传感器又可分为压缩压阻式、电容式和光学式的。此外，基于光学或声学原理以及基于柔性微柱位移酌传感器也属于直接测量类型，热膜型的或底层隔板型测量方法属于间接测量类型。在实际中研究应用最多也最经典的是热膜型的MEMS壁面剪应力传感器。本文主要对热膜型MEMS壁面剪应力传感器的测量原理、特点及其行静态标定和动态标定法作介绍。
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