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多层薄膜结构无损定量评价
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2018-03-01
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为了实现对多层薄膜结构厚度进行快速准确的测量和无损定量评价，研制了二维光学相干层析（ Optical Coherence Tomo-graphy，OCT）系统，避免了传统一维OCT系统逐点扫描导致成像效率低下的问题。阐述了去除OCT共轭镜像理论，采用了五步相移干涉法，具体由压电驱动器驱动参考镜实现，做到了对OCT共轭镜像的去除，避免出现OCT图像的混叠。所研制的OCT系统具有极高的系统分辨率和较好的信噪比，可以实现对手机钢化玻璃薄膜内部四层结构厚度（钢化玻璃、静电胶层l、防爆贴膜和静电胶层2）进行准确测量。实验结果表明：白研制的系统可快速高精度地对多层薄膜结构厚度进行测量，可以推荐使用在多层薄膜的无损定量评价中。
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