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扫描电子显微镜（SEM）类型和原理
扫描电子显微镜（SEM）原理
电子枪产生的电子束经聚光镜和物镜聚焦后，形成极细的电子束在样品表面进行逐点扫描。电子束与样品表面相互作用，激发出二次电子、背散射电子等信号。其中二次电子对样品表面的形貌非常敏感，这些二次电子被探测器收集，转换为电信号，再经过处理后在显像管或显示屏上形成反映样品表面形貌的三维图像。
应用场景：
主要用于观察样品的表面形貌，如材料的断口、晶体的表面生长形态、生物样品的细胞表面结构等，在材料科学、生物学、地质学、半导体工业、法医学等领域应用广泛。
按电子枪种类分类，钨丝枪扫描电镜使用热钨极电子枪，阴极为能加热的钨丝。优点是结构简单、成本较低、适用性强、维护费用低。具有以下产品优势：
1、操作维护简便
设备结构简单：相比场发射扫描电镜等，其结构相对简单，操作界面友好，易于上手操作，减少了操作人员的培训成本和时间。
维护成本较低：维护和调试过程相对容易，维护费用也较低，钨丝枪的更换和日常保养较为便捷，降低了设备的长期运营成本。
2、适应性强
真空要求较低：可以在相对较低的真空度下工作（<10Pa），适用于多种不同类型的样品，对于一些难以在高真空环境下保持稳定的样品，如含有一定水分或易挥发成分的样品，也能够进行观察。
样品类型广泛：能够观察导电和不导电的材料，无论是金属、陶瓷等导电材料，还是塑料、生物样品等不导电材料，都可以在钨丝枪扫描电镜下进行成像分析。
3、总发射电流稳定
抗干扰能力强：总发射电流和光斑大，性能稳定，抗震和抗干扰能力较强，能够在一定程度上抵御外界环境因素的干扰，保证成像的稳定性和可靠性，在一些环境条件相对复杂的实验室或工业现场也能较好地工作。
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