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一种用于电容型体硅微陀螺的低噪声读出电路芯片
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2010-02-09
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读出电路位于微传感器系统信号通路的最前端，是决定系统性能的关键因素。本文针对音叉式体硅微陀螺的具体应用，提出了一种低噪声电容读出电路，芯片采用斩波技术降低了电路的低频1/f 噪声、失调电压以及参考电压失配的影响，提高了读出电路的分辨率和动态范围；提出一种噪声电荷转移的分析方法，用于分析和预测读出电路的噪声性能；建立一种简化的微陀螺传感器仿真模型，用于模拟读出电路对微传感器的响应。读出电路在0.35μm 2P4 M 标准CMOS 工艺下设计流片，并与微传感器进行了联合应用，芯片面积为2×2.5 mm2，在5 V 电源电压，100 kHz 的时钟频率下，实现了4 aF/ Hz的电容分辨率和94 dB 的动态范围。
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